MEMS技術平台由微系统加工与封装两个平台构成,能提供从微芯片制造、芯片封装、器件测试和微系统集成的全流程服务。
超導器件工藝平台具备超导量子干涉器件、超导单光子探测器件等器件的自主研制和小批量超导器件的生产能力。
化合物工藝平台具备III-V族化合物半导体材料生长及光电子、微电子器件工艺加工、器件测试分析能力和器件封装能力。
微結構平台配備離子束加工和高性能材料分析系統,實現原子的三維重構、納米尺度下成像、分析原子成分與分布、化合物鍵態等功能。
原位電子平台將先進電子譜學探測技術與材料生長手段集成于一體,實現材料的原子精度可控生長,開展原位及真實工作環境下的高精度電子結構測量。
太陽能平台開展太陽電池標准測試和校准、光伏組件可靠性以及壽命衰退機制等方面的研究和測試服務。
2019年8月19日,伊比利亚国际纳米技术实验室(INL)总干事Lars Montelius教授一行四人来我所访问,我所赵建龙副所长、传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室,以及所级公共技术服务中心的科研骨干等参加...
2019年10月8日,应赵建龙副所长邀请来自于丹麦科技大学、丹麦微纳米加工中心的首席工程师史佩雄先生、系统与质量控制专家Th?ger Eskildsen博士、工艺专家Berit Herstr?m博士来我所进行技术交流活动。