研究室簡介

實驗室前身爲1985年成立的中科院離子束開放實驗室,曆經30余年努力,突破了4-8英寸SOI矽片和12英寸大矽片關鍵技術並實現産業化,實驗室將進一步開展矽基二維...

研究方向
  • 高端矽基材料

    高端矽基材料研究方向起源于1985年成立的中科院离子束开放实验室,最初主要集中在绝缘体上硅(SOI)材料相关研究领域,先后承担863、973等多项国家攻关项目。...

  • 矽基光電子

    矽基光電子方向,通过建设200mm硅光子专用工艺平台,在硅基衬底上实现片上光源、高速电光调制器、高速探测器、无源光子回路等关键器件,开展SOI材料在光电子...

  • 極端微電子

    極端微電子学面向集成电路国际学术前沿问题和国家集成电路产业发展的重大需求,聚焦各种极端环境下的芯片应用,着力开展高性能高可靠集成电路工艺与设计平台...

科研裝備
導師信息
  • 王曦

  • 俞躍輝

  • 鄒世昌