研究室簡介

传感技术国家联合重点实验室经国家计委批准于1987年成立, 1989年通过国家验收,是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室。实验室在微纳制造技术和新型传...

研究方向
  • 微納傳感器設計與制造技術

    研究各種物理傳感器(包括力學量、運動量、聲學、熱、電磁、光學、以及光纖傳感器)研究各種氣體傳感器、化學傳感器和生物傳感器

  • MEMS/MEMS技術

    研究体硅微机械加工、表面微机械加工、准LIGA加工技术和各种非硅微加工技术 研究先进封装工艺和纳机械结构制造技术

  • 敏感效應、機制與材料研究

    研究各种先进传感器用纳米敏感材料技术和新敏感效应 研究纳米敏感结构的尺度效应,利用超灵敏传感器研究界面分子热力学与动力学机制

  • 傳感微系統芯片技術

    基于微納米集成技術研究各種微納流控芯片、生化檢測芯片及預處理芯片,研究傳感微系統技術和陣列多傳感器的聯合檢測技術

科研裝備